光刻胶烘箱操作宝典：精准控温・规范流程・保障光刻精度
一、操作前准备
设备检查：确认烘箱外观无破损、电源线连接牢固，检查温度传感器、风机、门封条是否完好，无松动或损坏。
环境要求：确保操作环境清洁、干燥，无粉尘、腐蚀性气体，烘箱周围预留≥30cm散热空间，避免靠近易燃、易爆物品。
样品准备：将待处理的光刻胶样品装入专用承载容器（如石英舟、特制托盘），确保样品摆放均匀，不重叠、不遮挡出风口，避免影响热风循环。
二、开机与参数设置
启动设备：接通烘箱电源，按下控制面板上的“电源开关”，设备进入待机状态，显示屏显示当前环境温度。
温度设定：根据光刻胶工艺要求，通过“温度调节键”输入目标温度（常见范围：40℃-200℃），按下“确认”键锁定温度参数，设备自动开始预热。
时间设定：通过“时间调节键”设置烘烤时长（常见范围：5min-120min），若需连续运行，可选择“连续模式”，设定完成后按下“启动”键。
辅助参数设置：根据需求开启热风循环功能（默认开启），确保箱内温度均匀；若样品对湿度敏感，可开启除湿功能（部分型号支持），调节湿度至工艺要求范围（通常≤5%RH）。
三、光刻胶烘箱样品放入与运行监控
放入样品：待烘箱预热至目标温度±2℃范围内（显示屏显示“恒温”状态），缓慢打开箱门，快速将装有样品的承载容器放入箱内中层或指定搁板，关闭箱门并确认门扣锁紧，避免热风泄漏。
运行监控：烘烤过程中，实时观察显示屏上的温度、时间参数，若温度波动超过±5℃，需暂停运行并检查设备；禁止在运行中频繁打开箱门，以免影响温度稳定性和光刻胶性能。
异常处理：若设备出现报警（如超温、风机故障），立即按下“紧急停止”键，切断电源，待设备冷却后排查故障，故障未排除前不得重新启动。
四、停机与样品取出
结束运行：当烘烤时长达到设定值，设备自动发出提示音，显示屏显示“完成”，此时按下“停止”键，关闭热风循环和电源开关。
冷却等待：若烘烤温度≥100℃，需等待烘箱自然冷却至60℃以下（或根据光刻胶要求冷却至指定温度），再打开箱门，避免高温样品接触空气后发生氧化或变形。
取出样品：佩戴耐高温手套，缓慢打开箱门，先释放箱内残留热气，再平稳取出承载容器，将样品转移至指定冷却区域，待冷却后进行后续工艺。
关闭设备：确认样品取出后，关闭烘箱电源，拔掉电源线，整理操作区域，确保设备表面无残留样品或污渍。
五、清洁与维护
日常清洁：每次使用后，待设备冷却至室温，用干净的无尘布擦拭箱内壁、搁板和门封条，去除残留的光刻胶粉尘或污渍，避免积累影响后续使用。
定期维护：每周检查一次温度传感器和风机，确保无灰尘覆盖；每月清洁一次出风口和进风口滤网，避免堵塞影响散热；每季度校准一次温度精度，确保工艺参数准确性。
长期存放：若长期不使用，需切断电源，清洁设备内外，将门略微打开通风，防止箱内受潮发霉，存放于干燥、通风的环境中。
六、光刻胶烘箱核心注意事项
严格按照光刻胶产品说明书要求设定温度和时间，禁止超温、超时烘烤，以免导致光刻胶固化性能失效。
禁止将液体状光刻胶直接放入烘箱，避免液体泄漏引发安全隐患；承载容器需定期清洁、消毒，防止交叉污染。
设备运行时，箱门表面温度较高，禁止触摸，避免烫伤；儿童和非操作人员禁止靠近设备。
定期检查设备电源线、插头的绝缘性能，若出现老化、破损，需及时更换，确保用电安全。
关注微信